Chế tạo và nghiên cứu tính chất vật lý của màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp Ag bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron

Bài viết "Chế tạo và nghiên cứu tính chất vật lý của màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp Ag bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron" nghiên cứu công suất phún xạ ảnh hưởng mạnh đến độ kết tinh của màng thu được trong khi nồng độ pha tạp quyết định độ dẫn. Nồng độ pha tạp 1% cho màng có độ dẫn cao nhất (điện trở suất ~ 8×10-4Ω.cm) và có xu hướng giảm ở các nồng độ pha tạp cao hơn. Độ truyền qua của các màng mỏng ZnO:Ag trong vùng nhìn thấy bị giảm đi khi tăng nồng độ pha tạp nhưng vẫn đáp ứng yêu cầu để làm màng dẫn trong suốt trong các linh kiện quang điện tử. Mời các bạn cùng tham khảo!

Từ khóa: Tạp chí Khoa học và Công nghệ Đại học Duy Tân, Màng dẫn trong suốt, Phương pháp phún xạ, Màng dẫn ZnO pha tạp Ag, Phép đo Hall, Linh kiện quang điện tử